通過對比各種低溫等離子器件清洗方法的拉曼光譜，氧等離子體清洗儀證明用氧等離子體清洗Kanashima膜可以有效去除金表面的雜質(zhì)和Kanashima膜的表面增強拉曼活性。 .清潔前后沒有明顯變化。拉曼光譜可以提供與分子內(nèi)各種正常振動頻率相關(guān)的振動能級信息，是研究物質(zhì)分子結(jié)構(gòu)的有效手段。最大的優(yōu)點是對樣品制備沒有特殊要求，樣品可以在溶液中測量。表面增強拉曼光譜 (SERS) 是一種結(jié)合拉曼光譜和表面增強現(xiàn)象的分析技術(shù)。
氧氣低溫等離子設(shè)備等離子清洗的原理是通過基體表面的有機污染物與氧自由基反應生成二氧化碳、一氧化碳、水等揮發(fā)性化合物，連云港氧等離子體清洗機并吸收這些揮發(fā)性物質(zhì)。真空泵。通過真空沉積在硅片表面沉積一層金島膜。島狀膜具有較高的表面增強效果，砷分子增強系數(shù)為10。 Kanashima薄膜的表面污染通過氧等離子體清洗去除，光譜測試表明Kanashima薄膜的表面增強性能在清洗前后沒有明顯變化。
通過真空沉積在硅片表面沉積一層金島膜。島狀膜具有較高的表面增強效果，連云港氧等離子體清洗機砷分子增強系數(shù)為10。 Kanashima薄膜的表面污染通過氧等離子體清洗去除，光譜測試表明Kanashima薄膜的表面增強性能在清洗前后沒有明顯變化。氧等離子清洗機可以去除真空沉積形成的金島膜表面的大部分非晶碳雜質(zhì)。清潔的基板可以更好地保留針對其他分子的 SERS 活性。清潔后，SERS 信號衰減較少。
n12 + 188.25 n13) kJ/mol (4-5) 在式(4-5)中，氧等離子體清洗儀n11、n2和n3分別表示以下。 n11為C2烴產(chǎn)物中C2H6的摩爾分數(shù)，mol/%，n12為C2烴產(chǎn)物中C2H4的摩爾分數(shù)，mol/%；n13為C2烴產(chǎn)物中C2H2的摩爾分數(shù)，比率為摩爾/%。
氧等離子體清洗儀
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