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等離子去膠機(jī)

等離子去膠機(jī) 10L


1、小技巧、操作簡(jiǎn)單、易維護(hù)。

2、引進(jìn)德國(guó)核心等離子技術(shù),質(zhì)量有保障。

3、進(jìn)口針閥精密流量控制計(jì),精度高。

4、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕,環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。

5、多路工藝反應(yīng)氣體通道,保證產(chǎn)品清洗效果。

6、可以根據(jù)客戶(hù)需求定制。



產(chǎn)品詳情



  號(hào)

JL-VMS10

等離子源系統(tǒng)

  

13.65MHz  射頻

  

500W (連續(xù)可調(diào),精度為1W)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

石英

腔體內(nèi)部尺寸

D250*250mm(直徑*深度)

腔體容積

10 L

密封性

軍工級(jí)焊接密封

真空泵

油泵/干泵

處理溫度

60°C

流量計(jì)

0-500ml/min

氣路控制

2路處理氣體氣路,氣體流量可調(diào)

真空度

10Pa --100Pa

工藝氣體

Ar、N?、CF?、O?、H?等(可選)

外觀(guān)參數(shù)

外形尺寸

720*530*450mm(寬*深*高)

     

55kg

設(shè)施配置

     

單相三線(xiàn)制AC220V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。


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