型 號(hào) | JL-RR8 | ||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 0~300W可調(diào) | ||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質(zhì) | 石 英 |
腔體內(nèi)部尺寸 | Φ250 * Dept.260（直徑*深mm) | ||
腔體容積 | 12 L | ||
處理最大尺寸 | 8英寸 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計(jì) | 1×105~1×10-1Pa | ||
質(zhì)量流量計(jì) | ＜±1% FS | ||
氣路控制 | 4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào) | ||
極限真空 | 5Pa | ||
流量范圍 | 0-500SCCM（可調(diào)） | ||
工藝氣體 | Ar、CF4、N?、O?等等（可選） | ||
控制系統(tǒng) | 1、PLC 自動(dòng)控制； | ||
2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面； | |||
3、配方程序?yàn)?/span> 0~99； | |||
4、多級(jí)權(quán)限操作； | |||
5、圖形化曲線(xiàn)圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息； | |||
6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息； | |||
7、報(bào)警信息提示及追溯； | |||
8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù)； | |||
9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換； | |||
10、維護(hù)提示緊急停止按鈕； | |||
11、門(mén)感應(yīng)器和真空互鎖； | |||
12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示； | |||
13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示； | |||
外觀參數(shù) | 外形尺寸(MM) | 750*450*500(寬高深） | |
重 量 | 55KG | ||
設(shè)施配置 | 電 力 | 單相三線(xiàn)制AC220V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。 | |
壓縮空氣 | 無(wú) | ||
其 它 | 提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè)，易損件備件清單. | ||
質(zhì)保、售后服 務(wù)和技術(shù)支持 | 質(zhì) 保 | 一年免費(fèi)的維保和備件免費(fèi)更換 | |
技術(shù)支持 | 接到設(shè)備故障通知1個(gè)小時(shí)內(nèi)提供遠(yuǎn)程技術(shù)支持，對(duì)遠(yuǎn)程無(wú)法定位解決的問(wèn)題，提供現(xiàn)場(chǎng)維修服務(wù) | ||
培 訓(xùn) | 設(shè)備正式試用前，提供完整、免費(fèi)的技術(shù)培訓(xùn) | ||
