型 號 | JL-VMW60 | ||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 1000W可調(diào) | ||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質(zhì) | 航空鋁 |
腔體內(nèi)部尺寸 | 400*400*400mm（寬*深*高） | ||
托盤有效尺寸 | 420*280mm（寬*深) | ||
物料托盤層數(shù) | 5層、可拆卸式 | ||
腔體容積 | 60L | ||
密封性 | 軍工級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計 | 1*105~1*10-1Pa | ||
質(zhì)量流量計 | ＜±1% FS | ||
氣路控制 | 標(biāo)配2路（可定制） | ||
真空度 | 5Pa-30pa | ||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調(diào)） | |
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?等等（可選） | ||
外觀參數(shù) | 外形尺寸 | 900*900*1700mm（寬*深*高） | |
重 量 | 550kg | ||
設(shè)施配置 | 電 力 | 五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定 | |
