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真空等離子清洗機(jī)

真空等離子清洗機(jī) 60L

微組裝模塊的引線鍵合前清洗,清洗過程不會(huì)損傷裸芯片等敏感、易損器件;對(duì)電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等,表面進(jìn)行清洗,活化改性,去有機(jī)物,去氧化物,去顆粒;提升親水性,增強(qiáng)粘接性,附著力,分子活性。


產(chǎn)品詳情


型號(hào)

JL-VM60

等離子源系統(tǒng)

 

13.56MHz  射頻

40KHz  中頻

 

0~1000W可調(diào)

0-3000W可調(diào)

            

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

316L不銹鋼、航空鋁(選配)

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

400*400*400(寬高深)

腔體容積

60L

極板

5層極板5層托盤可拆卸式,層間距30mm,水平式,活動(dòng)可調(diào)節(jié)

 可放最大產(chǎn)品尺寸

  320mm*280mm

密封性

軍工級(jí)焊接密封

泵組

油泵/干泵+羅茨泵組合(選配)20?/H

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計(jì)

1×105~1×10-1Pa

質(zhì)量流量計(jì)

±1% FS  質(zhì)量流量控制(MFC)系統(tǒng)

氣路控制

2-4路處理氣體氣路,氣體流量可調(diào)

真空度基礎(chǔ)壓力設(shè)定范圍

10Pa-50Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調(diào))

工藝氣體

Ar、N?O?、H?等等(可選)

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動(dòng)控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序?yàn)?/span> 0~99;

4、多級(jí)權(quán)限操作;

5、圖形化曲線圖自動(dòng)監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息;

6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息;

7、配備聲光報(bào)警裝置,報(bào)警信息提示及追溯;

  8、保護(hù)功能:工作氣體耗盡報(bào)警、壓縮空氣力低于設(shè)定值報(bào)警、反應(yīng)倉泄露率過大報(bào)警、控制面板處設(shè)急停按鈕等

  9、免靜電清洗等多種清洗模式

10、圖形化界面檢測處理參數(shù);

11、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換;

12、維護(hù)提示緊急停止按鈕;

13、門感應(yīng)器和真空互鎖;

14、顯示功能:工藝參數(shù)顯示;運(yùn)行時(shí)間顯示;工藝過程實(shí)時(shí)監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài),如泵的、射頻電源監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài),如泵的、射頻電源監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài),如泵的、 射頻電源質(zhì)量流量等;故障報(bào)警,提示項(xiàng)目

15、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示;

16、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示;

17設(shè)備無WIFI,無藍(lán)牙,無讀卡器等相關(guān)裝置

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

900*1750*900(寬高深)

 

320KG

設(shè)施配置

 

五線線三相制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定

整機(jī)功率

2KW

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA 0.5MPa

 

提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè),易損件備件清單.


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