等離子體清洗/蝕刻機(jī)產(chǎn)生等離子體設(shè)備設(shè)置在密閉容器中,兩個(gè)電極形成電場(chǎng)與真空泵達(dá)到一定程度的真空,隨著氣體變得越來越薄,分子間距和自由運(yùn)動(dòng)的分子或離子之間的距離也越來越長(zhǎng),電場(chǎng),電泳漆膜附著力檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)是它們碰撞形成等離子體。這些離子非?;钴S,它們的能量足以摧毀幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)。等離子體的不同氣體具有不同的化學(xué)性質(zhì),如氧等離子體具有高氧化性,可以氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果。

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3、室內(nèi)真空高頻電極之間的電壓和接地裝置,使氣體被擊穿而發(fā)生輝光放電等離子體電離,讓產(chǎn)生的等離子體在真空室在加工工件,開始清洗,清洗處理最后幾秒到幾十分鐘,根據(jù)材料的不同加工。4、清洗完畢后,漆膜附著力檢測(cè)表切斷電源,并通過真空泵排出氣體和氣化污垢,結(jié)束清洗。真空等離子清洗機(jī)有許多優(yōu)點(diǎn):如采用數(shù)控技術(shù),自動(dòng)化程度高;配有高精度的控制裝置,時(shí)間控制精度高;正確的等離子清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量能得到保證。

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本發(fā)明是真空泵、RF、真空計(jì)、定時(shí)器、浮子流量計(jì)、綠色電源指示燈、帶燈蜂鳴器、功率調(diào)節(jié)器、排氣按鈕(帶自鎖)、氣體旋鈕(帶自鎖)、自帶開關(guān)、鎖(帶自鎖)、帶自鎖開關(guān)等。按鈕(帶自鎖)、真空泵按鈕(帶自鎖)、主電源旋鈕開關(guān)。由于按鈕式真空吸塵器的結(jié)構(gòu)和操作方式,存在一些缺點(diǎn)。由于觸點(diǎn)之間的布線連接,容易擊穿,可靠性低,維護(hù)困難。所有繼電器組件都是獨(dú)立的組件并且體積龐大。

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