等離子清洗的工作原理是利用真空泵將工作室進行抽真空達到30~50Pa的真空度，單根導體絕緣附著力再在高頻發(fā)生器交變電場的作用下將氣體進行電離，形成等離子態(tài)，其顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍色到深紫色的彩色可見光，材料處理溫度接近室溫?；钚缘入x子對被清洗物進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態(tài)物質，經過抽真空排出，從而達到清洗目的。

前者代表從非熱平衡速度分布到熱平衡麥克斯韋分布的轉變，單根導體絕緣附著力后者代表物質、動量、能量等在空間流動中的穩(wěn)定非熱平衡狀態(tài)。弛豫過程通常用各種弛豫時間來表示，其基本原理是帶電粒子之間的碰撞。帶電粒子之間的力是長期庫侖力，在德拜中，一個粒子可以同時與多個粒子進行長距離的相互作用，引起近距離碰撞（兩個粒子的近距離碰撞）和遠距離碰撞（兩個粒子的近距離碰撞）粒子）。一個粒子與遠處的多個粒子碰撞）。

通常情況下，單根導體怎么增加附著力物質以固態(tài)、商業(yè)態(tài)和氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊情況下可以以第四種狀態(tài)存在，比如太陽表面的物質、地球大氣層電離層的物質等。這類物質的狀態(tài)稱為等離子體態(tài)，也稱為勢物質的第四態(tài)。以下物質存在于等離子體中。高速運動的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團（自由基）；電離原子和分子；分子解離反應過程中產生的紫外線；未反應的分子、原子等，但物質作為一個整體保持電中性。

自由基的用處主要是反映在化學反應環(huán)節(jié)中勢能傳輸?shù)模ɑ睿┗锰?，單根導體怎么增加附著力激發(fā)模式的自由基勢能高，易于與物質表層分子結合產生新的自由基，新產生的自由基也處于不穩(wěn)定的高能模式，很可能發(fā)生分解反應，在變成 小分子的同時轉化成新的自由基。這種化學反應環(huán)節(jié)可能會繼續(xù)進行，分解成H2O、CO2等簡單分子。

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整個清洗過程可以在幾分鐘內完成，因此具有收率高的特點;六、等離子體清洗需要控制真空度Pa左右，這種清洗條件容易實現(xiàn)。

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