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技術(shù)知識

Plasma等離子清洗機,等離子體刻蝕機,真空等離子

發(fā)布時間:2022-04-01 16:05:33 瀏覽數(shù):756

1. 緊湊臺式設(shè)備、沒有RF放射、符合CE安全標準。

2. 功率為低、中、高三檔可調(diào)

低功率檔 30W

中功率檔 38W

高功率檔 45W

低功率檔功率相當于PDC-002 擴展型等離子清洗機的高 功率檔設(shè)置

3. 高功率型:

- 自動風(fēng)扇冷卻

- 集成真空泵開關(guān)

- 清洗腔:長6.5英寸,直徑6英寸,腔蓋具有鉸鏈和磁力鎖, 可視窗口,可拆卸;

- 1/8NPT針孔閥控制氣流及腔體壓力;

- 整機尺寸:11英寸H × 18英寸W × 9英寸D;

- 重量:37 lbs;

“半導(dǎo)體真空等離子/

4. 選配件

- 真空檢測計;

- 氣體流量混合器;

- 石英樣品托盤;

- 真空泵;

應(yīng)用案例

圖為:兩種工藝氣體混合等離子清洗

圖上:氣體流量混合器

均勻混合兩種工藝氣體濃度,根據(jù) 工藝氣體流量的大小同時實時檢測 清洗腔體真空度的濃度

圖下:PDC-002-HP等離子清洗機

應(yīng)用

等離子清洗機除了具有超清洗功能外,在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。等離子體作用于材料表面,使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組,形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料,在超清洗過程中等離子清洗器的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

參考客戶:

蘭州大學(xué) 鄭州大學(xué) 上海交通大學(xué) 上海復(fù)旦大學(xué) 合肥工業(yè)大學(xué) 成都電子科技大學(xué) 北京大學(xué) 清華大學(xué)醫(yī)工所 蘭州化物所 中科院納米所 香港科技大學(xué)等等

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