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技術(shù)知識

真空等離子體清洗機(plasma)構(gòu)成及其原理

發(fā)布時間:2022-04-01 15:26:50 瀏覽數(shù):688

金徠具體給您詳解 。首先等離子體是一種含有自由電子、離子和自由基的被電離氣體。等離子體與外加電磁場存在相互作用,這種作用會影響其內(nèi)部的自洽電磁場中的帶電離子,使等離子體的流體特性得到提高,從而產(chǎn)生諸如流動性、波動性、不穩(wěn)定性以及自組織性等集體效應(yīng)。等離子體中的每種粒子都有相對獨立的能量狀態(tài)分布,每種粒子所維持的能量狀態(tài)分布并非在等離子體中是保持等值平衡的。等離子體內(nèi)部能量是由熱能、電場能、磁場能和輻射場所構(gòu)成的,這些能彼此相互影響和轉(zhuǎn)換,使得等離子體能在一個更寬廣范圍的、多維參數(shù)相互關(guān)聯(lián)的空間里存在。

任何材料一旦接觸到等離子體,就會發(fā)生一系列的物理、化學(xué)變化,甚至?xí)霈F(xiàn)熔化。等離子體制造技術(shù)在實現(xiàn)對材料加工制造的同時,又能實現(xiàn)對材料本身的改性,提高材料的附加價值。

真空離子清洗機由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空腔休、機械等幾個部分夠成,可以根據(jù)客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統(tǒng),真空室。容易采用數(shù)控技術(shù),自動化程度高;具有高精度的控制裝置,時間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染。

真空離子清洗機(plasma)是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產(chǎn)生的物質(zhì),等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置。廣泛應(yīng)用于表面去油及清洗等離子刻蝕,聚四氟(PTFE)及聚四氟混合物的刻蝕、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等離子涂鍍聚合等工序,因此又應(yīng)用于汽車電子領(lǐng)域、軍工電子領(lǐng)域、PCB制成行業(yè)等高精密度領(lǐng)域。

真空離子清洗機真空兩個電極形成電磁場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體越來越稀薄,分子間距及分子或郭的自由運動距離也越來越長,受磁場作用,發(fā)生碰撞而形成等離子體,同時會發(fā)生輝光,等離子體在電磁場內(nèi)空間運動,并轟擊被處理物體表面,達(dá)到去除表面油污以及表面氧化物,灰化表面有機物,以及其它化學(xué)物質(zhì),從而達(dá)到表面處理、清洗和刻蝕效果,經(jīng)過等離子處理工藝可以實現(xiàn)有選擇的表面改性。

工作過程:

真空等離子清洗機plasma)包括一個反應(yīng)腔室、電源和真空泵組。樣品放置反應(yīng)腔室內(nèi),真空泵開始抽氣至一定的真空度,電源啟動便產(chǎn)生等離子體,然后氣體通入到反應(yīng)腔室,使腔室中的等離子體變成反應(yīng)等離子體,這些等離子體與樣品表面發(fā)生反應(yīng),生產(chǎn)可揮發(fā)的副產(chǎn)物,并由真空泵抽出。

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