大氣等離子清洗機(jī)跟真空等離子清洗機(jī)區(qū)別

⑴大氣等離子清洗機(jī)：

一般采用空氣作為生發(fā)氣體。特點(diǎn)是氣體的需求量非常高，工業(yè)應(yīng)用上常用中頻作為激發(fā)能源，頻率在39KHZ左右。

等離子工作形態(tài)以直噴跟旋轉(zhuǎn)兩種比較常見(jiàn)。設(shè)備工作過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生超標(biāo)的臭氧與氮氧化物等對(duì)人有害的氣體，所

以必須要配套廢氣排放系統(tǒng)一同工作。因?yàn)樘匦裕髿獾入x子主要適用于對(duì)處理效果要求高，并且后續(xù)運(yùn)行成本低

的行業(yè)，例如手機(jī)蓋板，手機(jī)保護(hù)膜等行業(yè)。

⑵真空等離子清洗機(jī)：

主要分為兩種，即腔式和大氣壓式，此兩種等離子技術(shù)均為直接式等離子。腔式等離子的特點(diǎn)是需要一個(gè)封閉的腔體，電極內(nèi)置于真空腔體中，工作時(shí)首先用真空泵將腔體內(nèi)空氣吸出形成真空環(huán)境，然后等離子在整個(gè)腔體中形成并直接對(duì)在內(nèi)的材料進(jìn)行表面處理。此種腔式等離子的處理效果要優(yōu)于大氣等離子。后續(xù)運(yùn)行成本較高，主要是因?yàn)槠湔婵毡眠B續(xù)工作的功耗較大。另外設(shè)備工作時(shí)在真空環(huán)節(jié)需要的時(shí)間較多，對(duì)采用自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)及要求處理效率的工業(yè)領(lǐng)域來(lái)說(shuō)，局限性比較明顯，大氣壓光式等離子技術(shù)。RF射頻作為激發(fā)能源，工作頻率是13.57MHZ。采用氬氣（Ar）

作為發(fā)生氣體，氧氣或者氮?dú)庾鳛榉磻?yīng)氣體。