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定制等離子清洗機

LED等離子清洗機

LED的封裝不僅要求能夠保護燈芯,而且還要能夠透光。所以LED的封裝對封裝材料有特殊的要求。而在微電子封裝的生產(chǎn)過程中,由于各種指紋、助焊劑、交叉污染、自然氧化、器件和材料會形成各種表面污染,包括有機物、環(huán)氧樹脂、光阻劑和焊料、金屬鹽等。這些污漬會對包裝生產(chǎn)過程和質量產(chǎn)生重大影響。等離子清洗的使用可以很容易地通過在污染的分子級生產(chǎn)過程形成的去除,保證原子和原子之間的緊密接觸工件表面附著,從而有效提高粘接強度,改善晶片鍵合質量,降低泄漏率,提高包裝性能、產(chǎn)量和組件的可靠性。

產(chǎn)品詳情


型號

JL-VM150

等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

40KHz  中頻

功  率

0~1000W可調

0-5000W可調

             選 配

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質

316L不銹鋼、航空鋁(選配)

腔體內部尺寸(MM)

500*600*500(寬高深)

腔體容積

150L

極板

17層,水平式,活動可調節(jié)

密封性

軍工級焊接密封

泵組

油泵/干泵+羅茨泵組合(選配)

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

1×105~1×10-1Pa

質量流量計

<±1% FS

氣路控制

2-4路處理氣體氣路,氣體流量可調

極限真空

5Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調)

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等(可選)

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權限操作;

5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息;

6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測處理參數(shù);

9、自動、手動操作可切換;

10、維護提示緊急停止按鈕;

11、門感應器和真空互鎖;

12、機器運行信號指示;

13、機器運行結束提示;

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

850*1700*1020(寬高深)

重  量

700KG

設施配置

電  力

五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA

其  它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單.


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